Введение
Металлургический кремний
Введение
Исходное сырьё
Виды сырья
Примесный состав
Технология переработки сырья
Физико-химические основы процесса
Описание технологии (режимы, требования)
Аппаратура
Вспомогательные материалы
Качество готовой продукции
Упаковка, условия хранения
Технико-экономические показатели
Состояние мирового производства и рынка
Объемы производства и потребления
Производители (страна, фирма, адрес)
Потребители
Цена
Силаны
Введение
Синтез
Физико-химические основы
Технологические режимы
Содержание хлорсиланов в парогазовой смеси
Содержание примесей в исходных реагентах
Содержание микропримесей в трихлорсилане
Содержание углеродосодержащих примесей в хлористом водороде
Физико-химические свойства тетрахлорсилана, трихлорсилана и моносилана
Аппаратура
Очистка
Физико-химические основы процесса
Физико-химические данные примесных соединений в трихлорсилане
Коэффициенты разделения для некоторых систем трихлорсилан-микропримесь
Аппаратура
Характеристика ректификационных колонн по очистке трихлорсилана
Режимы работы ректификационных колонн
Технико-экономические показатели
Методы анализа качества
Условия хранения, транспортировки
Техника безопасности, требования к производственным помещениям
Состояние мирового производства и рынка
Объем производства и потребления
Производители (страна, фирма, адрес)
Потребители
Цена
Качество продукции на мировом рынке
Поликристаллический кремний
Введение
Технология
Физико-химические основы Сименс-процесса и моносиланового метода
Аппаратура
Конструкционные материалы
Режимы работы реактора водородного восстановления хлорсиланов
Режимы моносиланового процесса
Чистота кремния по Сименс-методу
Чистота моносиланового кремния
Качественные показатели поликристаллического кремния
Методы анализа качества
Упаковка, хранение, транспортировка
Техника безопасности
Требования к производственным помещениям
Состояние мирового производства и рынка
Объемы производства и потребления
Производители (страна, фирма, адрес)
Потребители
Качество материала на мировом рынке
Коммерческие спецификации
Цена
Структура себестоимости
Монокристаллический кремний
Введение
Физико-химические константы технологии монокристаллов кремния
Основные физико-химические свойства Si
Коэффициент распределения
Максимальная растворимость примесей
Коэффициент диффузии примесей
Скорость испарения примесей
Механические свойства кремния
Удельная теплоемкость
Коэффициент теплопроводности
Тетраэдрический радиус примесей
Коэффициент термического расширения
Излучательная способность
Коэффициент диффузии вакансий
Метод Чохральского
Физико-химические основы процесса
Условия выращиввания
Термическая обработка
Поведение кислорода
Поведение углерода
Структурные дефекты в монокристаллах кремния
Установки для метода Чохральского
Качество кварцевых тиглей
Качество графита
Качество аргона
Качество монокристаллов
Бестигельная зонная плавка(БЗП)
Физико-химические основы процесса
Условия выращивания
Термическая обработка
Поведение кислорода
Поведение углерода
Структурные дефекты в монокристаллах кремния
Установки для БЗП
Качество аргона
Качество монокристаллов
Метод Чохральского в магнитном поле
Физико-химические основы процесса
Условия выращивания
Термическая обработка
Поведение кислорода
Поведение углерода
Структурные дефекты в монокристаллах кремния
Установки для метода Чохральского
Качество кварцевых тиглей
Качество графита
Качество аргона
Качество монокристаллов
Радиационно-легированный кремний
Физико-химические основы процесса
Условия облучения
Поведение кислорода
Поведение углерода
Структурные дефекты в монокристаллах кремния
Качество монокристаллов
Методы контроля качества
Упаковка, хранение
Требования к производственным помещениям
Технико-экономические показатели
Состояние мирового производства и рынка
Структура потребления
Объемы производства и потребления
Производители
Потребители
Коммерческие спецификации
Цена
Качество материала на рынке
Пластины кремния
Введение
Технология
Резка монокристаллов
Требования к пластинам
Основы процессов
Станки для резки
Станки для создания фасок, базовых срезов
Режимы
Обработка поверхности
Требования к полированным пластинам
Основы процессов
Станки для шлифования
Станки для полирования
Режимы
Реактивы и среды для обработки
Пасты, клеи и т. д
Методы очистки поверхности
Процессы геттерирования
Методы контроля качества
Упаковка, хранение
Требования к производственным помещениям
Технико-экономические показатели
Состояние мирового производства и рынка
Объемы производства и потребления
Производители
Потребители
Коммерческие спецификации
Цена
Качество материала на рынке
Эпитаксиальные структуры
Введение
Технология
Физико-химические основы процессов
Методы получения
Режимы роста слоев
Обработка подложек, требования к подложкам
Требования к помещениям
Установки для получения слоев
Качество слоев
Методы контроля качества слоев
Упаковка, хранение
Требования к производственным помещениям
Технико-экономические показатели
Состояние мирового производства и рынка
Объемы производства и потребления
Производители
Потребители
Коммерческие спецификации
Цена
Качество материала на мировом рынке
Защита окружающей среды
ИНФОРМАЦИОННАЯ СИСТЕМА ПО СВОЙСТВАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ
Контакты
Почта: kis@imet.ac.ru
Мобильный телефон: +7(499)135-86-30; +7(499) 135-25-91
Адрес: 119991, ГСП-1, Москва, Ленинский пр-т, 49, лаб.11
Связь с разработчиком: gmlanin@edu.hse.ru